在纳米涂层中，纳米硅的应用起到了至关重要的作用。首先，纳米硅的硬度接近钻石，因此添加到涂层中可以大大提高涂层的硬度和耐磨性，延长涂层的使用寿命。其次，纳米硅粒子尺寸极小，在可见光波段内没有明显的光吸收和散射，所以添加到涂层中可以保持涂层本身的高透明度，这对于光学涂层尤为重要。此外，纳米硅的比表面积大，与基料的结合面积大，可以显著提高涂层与基体的附着力。